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機能性材料/カスタム装置/その他

ファインパターン用アルミエッチング液 OESシリーズ

滑らかなエッチングラインにより、100μmピッチ以下の微細配線のエッチングが可能。

概要

従来のアルミ基材のエッチングは、通常塩化第二鉄水溶液で行われており、オーバーエッチやエッチングラインのギザツキが大きいこと等の理由から、微細なパターンをエッチングすることが出来ませんでした。「ETCHTRON® OES」シリーズは、従来のエッチング液とは異なるエッチング機構により、100μmピッチ以下のファインパターン形成を可能としています。

特長

  • 不純物として含まれる異種金属によるエッチング速度の影響がない
  • アルミ箔裏面の酸化層も同一速度で溶解可能

上記特長から、本機構によるエッチングでは、エッチングラインのギザ付き及びオーバーエッチが従来のエッチング液と比較して小さく、ファインパターンのエッチングが可能。 側面の細かい凹凸がなく、腐食性不純物の付着残存もないので信頼性の高いエッチングが可能。

  • ドライエッチングの置き換え
  • PH中性によりレジストへの影響少ない
  • ※高温下でもエッチング液自体は分解などの危険性はございませんが、水分の揮発に伴いエッチング液が目減りしますので、60℃以下でのご使用を推奨いたします。

    使用例

    データ

    特性表

    外観 無色~淡黄色透明液
    成分 フッ素化合物含む水溶液
    比重 1.07(@25℃)
    PH 7~8
    凝固温度 -6℃
    エッチング温度 40~50℃
    エッチング速度  40℃ 1.2μm/分
    50℃ 2.0μm/分
    エッチング限界 10gアルミ/リットル
    • 標記数値は代表値であり、保証値ではありません。

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