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SEM(走査型電子顕微鏡)観察

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SEM(走査型電子顕微鏡)観察受託サービスについて

SEM観察の受託を承っております。製品開発の確認、製造時トラブルの原因究明等にご利用頂けます。半導体パッケージ、金属、樹脂、有機物材料など幅広い物を観察可能です。

◎日立ハイテク社走査電子顕微鏡FlexSEM1000IIを新規導入

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サービス特徴SEM(走査型電子顕微鏡)観察

被写体深度が深く、高倍率での観察が可能。試料を本体にセットし、真空状態にし、フラッシング(電界放出電子銃)で電圧で印加することにより観察。


=装置で得られる情報=

  • 二次電子像:試料表面の凹凸情報
  • 反射電子像:試料表面の組成情報
  • 測長機能:撮像SEM像の2点間距離の測定

サービスの強みSEM(走査型電子顕微鏡)観察

  • 倍率:x20~300,000
  • 断面研磨の対応可能

ご依頼例SEM(走査型電子顕微鏡)観察

  • 断面研磨後の不良箇所の確認
  • ワイヤボンディング接続部の状態確認
  • 任意箇所の測長も可能
  • IC基板の断面観察による不良解析
  • 材料表面観察:金属試料、絶縁物試料、有機材料、無機材料

SEM(走査型電子顕微鏡)観察とは

半導体パッケージ、金属、樹脂、有機物材料など幅広い物を観察可能です。メッキの厚み測定、合金層の確認など微細な観察が可能です。また、測長機能もある為、材料厚みなど内部構造の確認が可能です。

SEM(走査型電子顕微鏡)観察の詳細

被写体深度が深く、高倍率での観察が可能。試料を本体にセットし、真空状態にし、フラッシング(電界放出電子銃)で引出電圧で印加することにより観察。観察した画像をパソコンの方への取り込みも可能。

設備スペック
  • 型式名:日立ハイテク社 FlexSEM1000II
  • 倍率:x20〜500,000
  • 分解能:二次電子像分解能 4.0nm(加速電圧20kV)/ 15.0nm(加速電圧1kV)
    反射電子像分解能 5.0nm(加速電圧20kV)
  • 倍率:×6 ~ ×300,000
  • 観察像:二次電子像/反射電子像/低真空二次電子像
  • 加速電圧:0.3~20kV
  • 電子源:プリセンタードカートリッジタイプタングステンヘアピンフィラメント
  • 試料サイズ:φ80mm 高さ40mm(観察可能範囲:φ64mm)
  • カメラナビゲーションシステム:CCD像とのステージリンク
  • SEM(走査型電子顕微鏡)観察装置
    SEM(走査型電子顕微鏡)観察装置
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よくある質問

観察倍率を教えてください。
20~500,000倍まで対応しています。
観察部の測長は可能ですか?
はい。可能です。メッキ厚、材料厚など測定可能です。

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